靜電放電：靜電電荷在電勢不同的物體之間的突然轉移，物體相互接近時通常會產生火花。 
歐姆：電阻的單位。 
每平方單位歐姆：表面電阻律的過時單位，需要使用方形探測儀來確定，不適用于歐洲使用的新ESD標準。 
靜電導電：電阻（RS、RV或者RG）小于105歐姆但是大于103歐姆，通常使用100伏特的直流電來測量。 
靜電耗散：電阻大于105但是小于1012歐姆，通常使用100伏特的直流電來測量。 
絕緣：電阻大于1012歐姆。 
靜電衰減時間：靜電電荷數從給定電勢（如1000伏特）降低到初始數值的一定比例（通常為10%）所需的時間。用來更好地表示具有高電阻的材料，其電阻通常高于109歐姆（在IEC61340-5-1標準中為1010歐姆）。 
抗靜電：許多材料在同其他物體進行摩擦或從其他物體上脫離下來時都會帶有靜電，抗靜電材料不會發生這種現象，或者僅產生輕微的靜電。（見低電荷）。 
無靜電：“抗靜電”的同義詞（見低電荷）。 
低電荷：具有能夠將所有電荷降低到最低水平的材料或者包裝。 

 注：前面所介紹的“抗靜電”和“無靜電”也包含在這個概念中。 
表面電阻：通常使用歐姆來表示，表示在一個平面物體（如臺墊或者包裝膜）上的同一面的分開放置的兩個電極（預定尺寸、重量和硬度）之間的電阻。用來制定這個測量方式的標準應該進行注釋。 
體積電阻：通常使用歐姆來表示，表示放置在一個平面物體（如臺墊或者包裝膜）的對立面上的兩個電極（預定尺寸、重量和硬度）之間的電阻。應對材料的厚度和使用的測試方法進行注釋。 
ESD保護區域：一個可以在其中以很低的ESD損害風險處理ESD敏感元件的區域，大小不限，如工作臺或者工廠等。 
接地面：大型導體，如地球、建筑物的鋼架或者船只的船體等，用來作為電流的回路以及強制的零電位參考點。 
EPA接地設備：連接到地面、交流電源地線或者建筑物鋼架的固定物，可以用來固定一個或者多個接地連接點。 
EPA接地連接點：用來連接EPA設備的地面固定物，通常通過接地電纜或者接地線來連接。 
接地點：接線摁紐等連接頭，通常固定到臺墊或者腕帶上，用來固定接地線。也稱可接地點。

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