靜電放電會對器件造成損害，但通過采取正確和適當的靜電防護和控制措施，建立靜電防護系統，那么就可以消除或控制靜電放電的發生，使其對元器件的損害降至最小。對敏感器件進行靜電防護和控制基本思想有兩條：
 
1.（1）對可能產生接地的地方要防止靜電的聚集，及采取一定的措施，避免或減少靜電放電的產生，或采取“邊產生邊泄漏”的方法達到消除電荷積聚的目的，將靜電荷控制在不致引起產生危害的程度。
1.（2）對已存在的電荷積聚，迅速可靠地消除。
 
2.1 工藝控制法
旨在生產過程中盡量少產生靜電荷。為此從工藝流程、材料選擇、設備安裝和操作管理等方面采取措施，控制靜電的產生和積聚，抑制靜電電位和靜電放電的能力，使之不超過危害程度。如在半導體制造過程中，當高速器件的淺結形成工序完成后，對沖洗用的去離子水的電阻率就必須控制。雖然電阻率越高，潔凈效果越好，但電阻率越高，在芯片上產生的靜電就越高。因此一般要控制在了略高于8MΩ的水平，而不能是初始工序用的16-17MΩ。還有在材料選擇上，包裝材料要采用防靜電材料，盡量避免未經處理的高分子材料。
 
2.2 泄漏法
旨在使靜電通過泄漏達到消除的目的。通常采用靜電接地是電荷向大地泄漏；也有采用增大物體導電的方法使接地沿物體表面或內部泄漏，如添加靜電劑或者增加濕度。最常見的是工作人員帶的防靜電腕帶，靜電接地柱。
 
2.3 靜電屏蔽法
根據靜電屏蔽原理，可分為內場屏蔽和外場屏蔽兩種。具體措施是用接地的屏幕罩把帶電體與其它物體隔離開來，這樣帶電體的電場將不會影響周圍其他物體（內場屏蔽）；有時也用屏蔽罩把被隔離的物體包圍起來，使其免受外界電場的影響（外場屏蔽）。如GaAs器件包裝多采用金屬盒或金屬膜。
 
2.4 復合中和法
旨在使靜電荷通過復合中和的辦法，達到消除的目的。通產利用接地消除器產生帶有異號電荷離子與帶電體上的電荷復合，達到中和的目的。一般來說當帶電體是絕緣體時，由于電荷在絕緣體上不能流動，所以不能采用接地的辦法泄漏電荷，這時就必須采用防靜電消除器產生異號離子去中和。如對生產線傳傳送帶上產生的靜電電荷就采用這種方法進行消除。
 
2.5 整凈措施
 旨在避免間斷放電的現象。為此，應該盡可能使帶電體及周圍物體的表面保持光滑和潔凈，以便減少間斷放電的可能性。

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