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靜電防護的工藝控制法

[點擊量:4617][來源:創選寶防靜電專家(iziwu.cn)]

2018-01-08

旨在生產過程中盡量少產生靜電荷。為此從工藝流程、材料選擇、設備安裝和操作管理等方面采取措施,控制靜電的產生和積聚,抑制靜電電位和靜電放電的能力,使之不超過危害程度。如在半導體制造過程中,當高速器件的淺結形成工序完成后,對沖洗用的去離子水的電阻率就必須控制。雖然電阻率越高,潔凈效果越好,但電阻率越高,在芯片上產生的靜電就越高。因此一般要控制在了略高于8MΩ的水平,而不能是初始工序用的16-17MΩ。還有在材料選擇上,包裝材料要采用防靜電材料,盡量避免未經處理的高分子材料。

 

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---責任編輯:創選寶P

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