1.1 ESD的問題

      靜電放電（ESE）是不同靜電電位的兩個物體之間電荷的非受控制轉移。ESD最常見的結果是靜電敏感產品的損壞及設備故障。 在半導體和電子行業以及醫療或光學設備、記錄介質薄膜的制造，這類事例常常發生。為了減少靜電放電帶來的損失推薦操作作業時使用防靜電工作臺，保障生產安全。

1.2 行業中關注的ESD

      在半導體電子生產的，為滿足微型化、更高性能，更快運行速度的需要，器件的幾何尺寸越來越小。這就造成了半導體晶片上分離器件的更高密度，ESD事件通過各種機制如融化、金屬涂覆線氣化、薄氧化層穿孔等，造成器件損壞或故障。ESD事件還可降低器件質量，使其形成潛在的缺陷或“帶病運行”。該器件雖能通過生產測試，但會過早失效。

      醫療、光學和介質薄覆膜產業，也被稱為對“靜電荷或靜電放電敏感”。在基板上沉積薄膜時，靜電事件隨時可損壞產品。

1.3 ESD對設備運行的影響

     ESD不但會損壞產品，ESD事件還會影響產品的生產設備。許多生產設備的控制功能使用的是微處理器，ESD事件還會影響產品的生產設備。許多生產設備的控制功能使用的是微處理器，ESD事件產生的電磁干擾（EMI）的輻射效應或傳導效應，可干擾這類設備的運行。一臺設備發生ESD事件所產生的電磁干擾，有可能影響附近設備的運行。

     由于潔凈室的自動化程度越來越高，其運行往往是由計算機化的工廠管理系統（FMS）控制的。ESD事件造成一臺設備的一個數據問題，則整個工廠的運行都會受到影響。雖然機器關機通常不是災難性問題，但它可造成停產，降低加工速度，有時還有產品損失。生產工藝的低效率增加了生產成本。

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