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2014-08-29
因為靜電放電(ESD)對精密電路、磁盤的影響,電子行業面臨著巨大的挑戰。它們每年將會損失數十億美元。僅僅5V的電壓都可能損壞那些微小精密的組件,小于100V的電壓可能使整個電子電路報廢。
在受ESD影響的領域,潔凈室管理者們在生產線上都要考慮到由ESD引起的失效和損壞百分比。
然而,ESD控制材料又容易引起污染——靜電耗散材料是潔凈室中塵粒和化學污染的一個主要來源。為對ESD進行控制,潔凈室內的物品都是由靜電耗散材料組成,能阻止ESD和靜電吸引。選擇適合潔凈室的防靜電用品是個很大的挑戰。
然而, ESD的解決方案比尋找靜電耗散材料更復雜。因此,專家推薦了一套ESD控制程序。
可用技術
在潔凈室中可采用為靜電耗散設計的產品:棉簽、擦拭布、膠水、布料、墻壁材料、手腕帶、手套、工衣等。然而,靜電耗散材料也可能產生污染,很多由塑料或不銹鋼制作的潔凈室產品可能積聚或傳導電量。
“對產品和設備的ESD性能和污染控制給予同樣的關注,潔凈室中的服裝和材料最好用靜電耗散材料制作,并可以接地。”非硅晶行業的領頭者Russ Moulton這樣認為。
其它的行業,尤其是在磁頭驅動行業,采用了更多的潔凈室防靜電材料。過去,磁頭驅動行業僅在IC(芯片、微芯片)的生產中采用ESD控制技術。但現在已經有更多的行業采用了ESD控制技術。
ESD產品的生產商對于開發新型的靜電耗散材料已經有了一定難度。IC的在變小,靜電敏感度也在增強。近三年,很多電子產商也開始要求更多的ESD產品。
找到合適的防靜電原材料有一定難度。掩光板由塑料制成,用很好的耐磨損性,低揮發物和耐化學性,是用于潔凈室的很好的材料。要找到很有透明度的原材料是困難的。添加劑和共聚物由于含有不同折射率的組成而使材料變成不透明的。而且,塑料必須具有很好的表面電阻。
靜電吸附
在潔凈室中因為存在靜電,使去除污染變得比較困難。塵粒由于靜電的作用總是容易粘到硅片上,導致產品損壞、優率降低。
我們最大的問題是要找到適合潔凈室使用的防靜電材料。在LCD行業,玻璃基板的變大,吸引電荷的能力也增強。由于基板的尺寸大,任何污染都可能導致優率降低。
與其它的污染控制行業一樣,LCD行業也一直在尋找能解決ESD問題的新型材料。在潔凈室使用的材料也更可能地使用防靜電材料,在棉簽和抹布上也可以嘗試發現新材料來代替傳統材料。
適合型
為什么潔凈室中沒有適合的ESD產品?在過去的3到5年里,廠商們在提供產品給潔凈室使用都時認識到,潔凈室中需要ESD產品。但是,尋找能用于潔凈室中的ESD產品是個問題。因為很多用于潔凈室的ESD產品的性能不夠穩定。
在潔凈室中ESD控制的最大難題是人員在潔凈室中的走動。因為人穿著大量的聚酯類織物,會產生大量的電荷。在潔凈室中去除這種電荷唯一的辦法是接地。
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