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2014-11-25
人們常常會聽到這樣的說法:“潔凈室中的污染又看不見,沒什么好清潔的。”“清潔前與清潔后的潔凈室都一樣干凈,所以不需要清潔”。這兩種說法反映了對潔凈室清潔維護工作的一般態度。潔凈室并不僅僅是工業生產活動的一個一般的組成部分,潔凈室就是而且也應當被看作是整個生產系統的中心部分,因為一系列關鍵工藝步驟必須在其中進行。那么究竟有沒有必要對潔凈室進行定期的清潔維護呢?
在講到清潔維護的重要性之前,我們先在認識一下潔凈室中的四大污染來源。
■ 潔凈室中的工具設備在運轉的過程中會向潔凈室空間擴散粒子
■ 潔凈室中的產品也會向潔凈室空間擴散粒子
■ 潔凈室中的設施,例如地面、墻面、天花板等,一刻不停地擴散著粒子
■ 潔凈室中的人員是污染的主要來源,潔凈室中的污染有80%都來自于人員散發的粒子
既然潔凈室有這么多污染來源,為什么潔凈室“看上去”還那么干凈呢?那是因為我們肉眼只能看到粒徑大于50um的塵粒,需要用顯微鏡才能看到小于50um的塵粒。(如下圖所示)而對于許多精密制造業來說,例如芯片制造業,任何大于0.1um的塵粒都會對產品造成危害。此時,就需要通過潔凈室和污染控制技術來達到合格的生產環境。
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