靜電放電(ESD, electrostatic discharge) 已經成為電子工業的隱形殺手。由于電子行業的迅速發展，體積小、集成度高的器件得到大規模生產和應用。一方面隨著納米技術的日益發展，集成電路的集成密度越來越高，從而導致導線間距越來越小，絕緣膜越來越薄，相應的耐靜電擊穿電壓也越來越低；另一方面，一些表面電阻率很高的高分子材料如塑料、橡膠制品的廣泛應用以及現代生產過程的高速化, 以及人體活動，使靜電能積累到很高的程度,具備了可怕的破壞性.不同的靜電敏感器件受靜電損傷的閾值電壓見表1。

表1

         同時人的活動是最主要的靜電源，僅某單位機房一臺計算機，在操作人員啟動開關按鈕的一剎那，突然發生故障停機，事后測得操作人員人體帶電電位高達6700伏，機內印刷電路板（PCB）被打壞，損失近3萬美元。而電子產品在生產、運輸、儲存和轉運等過程中所產生的靜電電壓卻遠遠超過其擊穿電壓閾值，這就可能造成器件的擊穿或失效，影響產品的技術指標，降低其可靠性。由此可見，靜電是電子行業發展中的一大障礙。所以預防靜電必須提到議事日程上來，以確保產品的質量。

          ESD是電子工業中普遍存在的＂ 硬病毒＂，在某個內外因條件具備的時刻便會發作。為使電子器件及產品在購買、入庫、發料、檢驗、儲存、調測和安裝等過程中免受靜電危害,了解靜電產生的機理和一些防止靜電產生危害的相關知識是非常必要和重要的。

         二、電子行業中靜電危害的形成

         電子行業中靜電危害可分為兩類：一是由靜電引力引起的浮游塵埃的吸附；二是由靜電放電引起的介質擊穿。

        1、靜電吸附

         在半導體元器件的生產制造過程中, 由于大量使用了石英及高分子物質制成的器具和材料，其絕緣度很高，在使用過程中一些不可避免的摩擦可造成其表面電荷不斷積聚且電位愈來愈高。表1列出了半導體元器件及其使用環境中部分物品表面的靜電電位。

表 2

         從表2可見，它們的靜電電位都很高。由于靜電的力學效應，在這種情況下很容易使工作場所的浮游塵埃吸附于芯片表面，而很小的塵埃吸附都有可能影響半導體器件的良好性能。所以電子產品的生產必須在清潔環境中操作，并且操作人員、器具及環境必須采取一系列的防靜電措施，以防止和降低靜電危害的形成。

        2、介質擊穿的分類

         由靜電引起元器件的擊穿是電子工業中靜電危害的主要方式。在強電場中，隨著電場強的增強，電荷不斷積累，當達到一定程度時，電介質會失去極化特征而成為導體，最后產生介質的熱損壞現象，這種現象稱為電介質的擊穿。介質擊穿分熱擊穿、化學擊穿和電擊穿三種形式。

        （1）熱擊穿

        介質工作時，當損耗產生的熱量大于介質向周圍散發的熱量時，介質的溫度迅速升高，導電隨之增加，直至介質的熱損壞。可見熱擊穿的核心問題是散熱問題。所以熱設計是產品設計的重要環節之一。

        （2）化學擊穿

         在高壓下，強電場會在介質表面或內部的缺陷小孔附近產生局部空氣碰撞電離，引起介質電輝，生成化學物質--臭氧和二氧化碳，使絕緣性能降低，致使介質損壞。

        （3）電擊穿

         電擊穿是介質在強電場作用下, 被擊發出自由電子而引起的。自由電子隨電場強度的增加而急劇增加，從而破壞介質的絕緣性能。可見電擊穿的本質是電荷積聚所致, 因而防止電荷積聚就可防止電擊穿。

        3、靜電的擊穿與放電

        （1）靜電放電

          靜電放電與外加穩定電源產生的放電雖然同為電荷積聚所致，但又有著明顯的區別。首先，在靜電放電的情況下，起放電電源是空間電荷，因而它所儲存的能量是有限的，不像外加電源那樣具有持續放電的能力，故它僅能提供短暫發生的局部擊穿能量。雖然靜電放電的能量較小, 但其放電波形很復雜，控制起來也比較麻煩。半導體器件的軟擊穿就與它有關。

        （2）靜電擊穿

         由靜電擊穿引起的元器件擊穿損壞是電子工業中，特別是電子產品制造、電裝中最普遍、最嚴重的危害。靜電放電可能造成器件硬擊穿或軟擊穿。硬擊穿是一次性造成器件的永久性失效，如器件的輸出與輸入開路或短路。軟擊穿則可使器件的性能劣化，并使其指標參數降低而造成故障隱患。由于軟擊穿可使電路時好時壞（指標參數降低所致），且不易被發現，給整機運行和查找故障造成很大麻煩。軟擊穿時設備仍能帶"病"工作，性能未發生根本變化，很可能通過出廠檢驗，但隨時可能造成再次失效。多次軟擊穿就能造成硬擊穿，使設備運行不正常，既給用戶造成損失，也影響廠家聲譽和產品的銷售，甚至會給國家造成無法挽回的損失。

        4、人體靜電

        在工業生產中，引起元器件損壞和對電子設備的正常運行產生干擾的一個主要原因是人體靜電放電。人體靜電放電既可能造成人體遭電擊而受傷害，又可能引發二次事故（即器件損壞），因此人體靜電應引起足夠重視。人體形成靜電的原因是人體在日常工作中，把人體所消耗的機械能在活動中轉換為電能。人體是一個靜電導體，當與大地絕緣時（如穿的鞋底為絕緣物質），人體與大地就形成一個電容，使電荷儲存起來，其充電電壓一般≤50kV。表3反映的是不同條件下人的各種動作所產生的靜電電壓（單位：KV）.

  表 3

         由表3可見，一個很常見、很細微的動作就會引起相當高的靜電電壓。當人體帶電放電時，人體會有不同程度的反映，這種反映稱為電擊感度。當人體受到靜電電擊時，雖不會發生重大生理障礙，但可能會影響人體健康或傷害人體。表4為人體靜電電位和電擊感度的關系。

表 4

         由表4可見，電擊傷害發生的極限是3.0KV.同時帶靜電的人體去觸摸靜電敏感器件，從而造成這些敏感器件的損傷。

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